手机浏览器扫描二维码访问
chapter063 光刻胶（第1页）
高能物理研究所本就是研究核能物理的等先进技术的地方，在布一楠之前就已经着手开始了国产光刻机的制造。
但是因为工艺水平和理论限制一直没有大的突破。
布一楠想造光刻机，邓玉峰就将高能物理研究所的事情告诉了她。
布一楠之后就将光源部分交给了对方，他们本就有一些设计理念和思路在，加上布一楠的技术至此也花了将近两个月才搞定这些。
只是想到组装光刻机过程的时候，布一楠却发现自己还遗漏了一种物品。
智者千虑必有一失，她这是彻底忘记了这东西也没有卖的，得现造啊！
光刻胶。
如果把光刻机形容成半导体行业的皇冠的话，光刻胶就是这皇冠上最璀璨的明珠。
虽然光刻胶仅占半导体材料行业的5%，但是光刻胶是芯片制造行业中最核心、最关键的三大件之一。
硅片，第一；光刻机第二，第三就是光刻胶。
整个晶圆制造过程中，光刻耗时约占整个工艺的40%-60%。
光刻胶（Photoresist）又叫光阻剂或光阻液。
光刻胶是一种能把光影化为现实的胶体，有着正胶负胶之分。
其中正胶是一种见光死的材料。
但是在暗中却异常坚挺，被特定波长的光线照射就会疲软，继而能被溶解清除。
负胶则和正胶刚好相反。
所有光刻技术就是利用光刻胶的这种光敏性，来雕刻芯片。
（目前全球五大光刻胶生产厂家其中四家是日企，一家是美企）
例如，我们要造一个沟槽式的内存芯片（DRAM），首先在暗中给硅片涂一层光刻胶，再照上光掩膜进行曝光，让光线按照光掩膜上设计好的坑位通过照在光刻胶上。
这些胶体就会疲软，随即被溶剂洗掉，而剩余坚挺的光刻胶成为了保护膜，接着用能腐蚀硅的溶剂，把没有光刻胶保护的坑位区域腐蚀掉一层，最后再把光刻胶保护膜清除，就完成了大量深坑的精确雕刻。
同时这种对硅片定向做减法的腐蚀，就是刻蚀（etching）。
刻蚀、沉积、注入粒子就是光刻的基本步骤。
而硅片的每一次光刻又要经过8个步骤，3个烘焙。
光刻步骤：
1清洁及表面处理
用去离子水清洗后，为了给硅片做增黏处理，会用六甲基二硅胺烷的气体（HMDS）熏蒸硅片，使硅片表面充分脱水。
2旋转涂胶
在硅片中间旋转滴入硅刻胶，让硅片高速转动把胶体摊开，在以较慢的速度旋转，让胶体厚度稳定，接着去边处理，去掉边缘一圈的光刻胶。
3前烘
涂胶后机械臂拿出硅片放入烤箱或热板上进行烘焙，目的减少光刻胶中溶剂含量，让其更加浓稠坚固，提高与硅片的附着稳定性，一般100°左右的温度烤一分钟，因为光刻胶不耐高温。
4对准和曝光
光掩模、透镜组和硅片工作台精密对准和调频，光源放光，移动硅片台让硅片有序曝光。
5后烘（PEB）
通过加热让光刻胶中的光化学反应充分完成，可以弥补曝光强度不足的问题，同时减少光刻胶显影后因为驻波效应产生的一圈圈纹路。
6显影冲洗
后烘后把曝光的部分溶解清除，光掩膜上的图像就复现在了光刻胶上。
再具体一些就是用去离子水润湿硅片，把显影液（四甲基氢氧化铵）的水溶液均匀喷淋在光刻胶表面，让光刻中被曝光的部分充分溶解，最后用去离子水冲走（45纳米以下的制程，因为尺寸太小溶解残留物比表面积过大，黏附力强，需要加喷氮气）
7坚膜烘焙
让保护膜更坚挺，更加顶得住刻蚀。
穿越，我成了艺术学院的校医 审判之瞳：开局设计意外裁决罪犯 特种兵：特战精英，震撼狼牙 不是高冷太子吗？怎么那么会撒娇 知青又娇又软，糙汉拿命宠 力量异能废力量和力量是有区别的 冥王妻：我家夫君有点疯 hp：救世主但是不可饶恕咒仙人 开封府胥吏 末日重生：万亿物资换女神 快穿：好孕爆棚，帝王掌中宝 老婆安然，萌娃大闹特种兵世界 逃荒路杳杳 快穿：全能路人炮灰 从小士卒到大夏第一猛将 暮归之路两不负 四合院：维度之神 反派儿子你跪下，妈求你点事 乐园招了个深渊异族 趟过人生河
天美地艳男人是山
从农村考入大学的庾明毕业后因为成了老厂长的乘龙快婿，后随老厂长进京，成为中央某部后备干部，并被下派到蓟原市任市长。然而，官运亨通的他因为妻子的奸情发生了婚变，蓟原市急欲接班当权的少壮派势力以为他没有了后台，便扯住其年轻恋爱时与恋人的越轨行为作文章，将其赶下台，多亏老省长爱惜人才，推荐其参加跨国合资公司总裁竞聘，才东山再起然而，仕途一旦顺风，官运一发不可收拾由于庾明联合地方政府开展棚户区改造工程受到了中央领导和老百姓的赞誉。在省代会上，他又被推举到了省长的重要岗位。一介平民跃升为省长...
三寸人间
...
槐夏记事
本文无cp文案我变绿了，也变强了。槐树精变身人类，不仅要学做人，还要带崽子，还要忙着给自己找对象最重要的是，为什么自己本体那个花坛要拆迁啊啊啊！哭唧唧走上赚钱买地的奋斗路。新书楚河记事求支持。已有完结文青诡记事，丁薇记事孔方世界。谢谢大家的支持，让我们做言情界的泥石流吧！...
无敌悍民
万人追更，火爆爽文农村小子偶然获得神农传承，从此一飞冲天，成为人中龙。带领大家走上一条致富路。...
恋上美女总裁
什么？要我和美女总裁搞好关系？当然可以！李迪贱笑一声关系就是搞出来的嘛！当兵王之王重回花都，冷艳总裁，傲娇萝莉，清纯助理，火辣警花，群美环绕！花都，我为王！...
【修真】男人就是鼎炉
前世黑莲花白蓁被人在车上动了手脚车祸去世，穿越成了合欢宗女修白千羽，开启了和前世开后宫没什么不同的修仙之路。这篇算是某某宗女修炼手札的同人，但是是否玩游戏对看文没啥影响，文不会收费，大家放心追，女主是自设的无心海王型号。挂是挂了修真的名头，其实本文没有着重写女主初期修炼，主要还是着重她成为女王之后的故事。全文分三部分，第一二部分女主一边双修一边把以前给她使绊子的人给除了，手段稍微有点粗暴残忍，结果奇奇怪怪自称系统的东西出现了，告诉她，她已成为了这条世界线的主人，同时她设计把自己也拱成了修真大陆的无冕之王。第三部分开幕，无冕之王并不是这么好当的，一边要均衡各大势力，挑对自己有用的掌握在手里，一边要处理情人们的修罗场。。。。偶尔，系统还会给她出难题，让她暴打外来入侵者。然而白蓁（千羽）对此表示，挺好玩的，再来点。本文可能微微有点女尊倾向，女主床上小淫娃，床下真女王，没心没肺，快乐加倍。有疑似正宫，但是基本不会出现1v1的情况，女主这么强，配一个男的太亏了（啥？）。预警，女主从目前的伦理道德来讲，确实是渣女，而且吸溜子也没想洗。...