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第234章 打通全套芯片产业链（第1页）

光刻机这赛道，秦淼还真知道一些！

此时，听到徐教授的问话，他首先反问了起来：“我们的激光器，用的是什么技术？”

光刻机的光源就是最重要的一环，最早的接触式光刻机，用的是汞灯，光源很简单，但是光源很容易衍射，也就是无法光刻太细的电路，否则就会模糊，到了后来又用了准分子激光器产生的i线，提升了生产工艺。

但是，这些都不是最完美的，所以，随着工艺的提升，激光器也在不断变化，先后有了氟化氪，也就是KrF光源，再后来是氟化氩，也就是ArF。

后世东方在极紫外光刻机，也就是EUV光刻机上遭到制裁无法拿到货之后，采用多次重复曝光的套刻方式，成功地用ArF光源的光刻机，实现了5纳米的手机芯片的生产。

所以，己方的下一代光刻机，就不用走一步步过渡路线了，直接一步到位，要是在八十年代就搞出来哪怕100纳米的工艺，不得让西方绝望得跳楼？

“目前我们用的是氦氖激光器作为光源，这属于第一代气体激光器，我们清华大学光学系研究得比较透，接下来，计划使用氟化氪，在光刻机领域里，被很多人认为这工艺是最可能的下一个节点……”

“如果造氟化氩激光器的话，难度会大吗？”

“这……”徐教授还真没准备，他思考片刻：“你稍等，我去问问。”

说完，徐教授拿起了电话：“喂，光学系吗？我是精密仪器系的老徐，我找你们了解个情况……”

这就是大学搞研发的好处，不管想要搞什么，都会在本校找到相关研发人员！

放下电话，徐教授满脸兴奋：“这激光器没问题，光源是193纳米的，可以直接光刻0.2微米的芯片，如果多次套刻，几十纳米的芯片都能造出来……”

现在，国际上主流的芯片制程，还是5微米的，清华大学的光刻机能达到1.25微米，已经很逆天了，如果研发出来新款光刻机，直接过渡到0.2微米……这就是进入了纳米时代了啊！

倪工满脸兴奋，他已经预感到东方芯片工业要腾飞了！

芯片制程越高，同一块晶圆上能做出的芯片就越多，芯片的成本也就越低，同时，线路细了之后，发热量也小，意味着芯片的性能会更高。

所以，各国都在研究更加先进的芯片工艺，咱们东方在这个行业里，原本是落后的，现在，哈工大掺和进来，这领域，要达到世界第一了！

倪工对未来充满信心。

“不过，光源改变，光刻胶等等产品，都要跟着改变……”徐教授还有些担心。

“没问题，咱们哈工大找配套的供货商，如果没有人供货，那咱们自己研发！”

光刻机，只是芯片产业的一环，还有很多产业，都是能被卡脖子的，后世，南棒子的芯片产业一流，三星更是大公司，被岛国卡脖子，光刻胶断供，立马就着急了！

一种光源，配套一种光刻胶，这东西，其实技术难度不大，关键是全球产业链，几个垄断巨头出来，其他企业就没必要搞了，什么时候被断供，才会幡然醒悟，多花钱也要自己搞！

徐教授点头：“嗯，接下来就是更加精密的伺服系统，这个是我们精密仪器系的强项，还有一些特制的镜头，需要我们最熟练的工匠来打磨，秦淼同志，你放心，只要一样资金到位，我们不会掉链子的！”

秦淼点头：“我们保证充沛的研发资金，咱们共同合作，把东方的芯片产业，做到世界第一！”

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