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第九四三章双工作台（第1页）

“魏总，邓院长，公司哪天生产一条6英寸晶圆、1um制程工艺的半导体生产线？我就拿出淘宝控股公司拥有的500万股京城半导体设备的股份，作为股权激励，奖励给做出贡献的科研人员、管理层和优秀员工，等公司股票上市半年后，这二百万股票作为职工股可以上市交易。”

淘宝控股公司投资BSEC3亿元，拥有3亿股，占股60%，还有其他四家国有股东，重生者不可能拿出淘宝控股公司拥有5%的BSEC股份赠送给管理层、科研人员和其他员工，还容许配股5%。

人人都有股份，不如股权激励的效果好，还能吸引高层次科研人员。

重奖之下必有勇夫！

啪啪……

六个人不由自主的拍起了巴掌，眼前一亮。

一旦研制成功6英寸晶圆、1um制程工艺的光刻机，极有可能收获科技进步一等奖，研究员欧阳明和陈伟长还有可能更进一步。

一旦上市，大家名利双收！

“邓院长、欧阳副院长、陈副院长，九一年四月，我在荷兰ASML公司，在总经理普拉多的陪同下，参观ASML光刻机时，突发奇想，一台光刻机内要是有两个承载晶圆的工作台，一个工作台曝光，一个工作台测光，相互独立运行，能否提高光刻机的产量和制程工艺？当时忍住没有告诉普拉多，你们觉得在一套光刻系统里配备两个工作台是否可行？”

孙健暂时还不想告诉众人，他投资了ASML30%的股权。

光刻机主要由光源、光学系统和工作台三大核心部件组成，光刻机工作台主要承载晶圆按照指定的运动轨迹做高速超精密运动并完成一系列曝光所需动作，包括上下片、对准、晶圆面型测量和曝光等。

美国公司的极紫外光、德国公司的光学系统和自创的双工作台系统是ASML光刻机成为光刻机霸主的三大法宝！

Nikon和佳能前世都没有攻克双工作台技术，不得不购买ASML的双工作台系统公司发明专利。

前世有个华清教授带着团队研发成功光刻机双工作台系统，打破了ASML的垄断，并成立了一家高科技公司，成为世界上第二个拥有光刻机双工作台系统公司发明专利的企业。

BSE差得太远，光刻机是一个高科技系统性工程，迎头赶上需要时间，ArF准分子激光器才刚刚立项，193nm光源还没有影子，只能另辟蹊径，要是能研发成功光刻机双工作台系统，BSEC就能在全球光刻机行业中有说话的资本。

重生者只知道光刻机双工作台技术是ASML垄断高端光刻机的三大法宝之一，但设想如何变成现实就不是重生者能左右的事情了。

“双工作台？董事长，我觉得有些难度，我们马上集中三家单位的相关科研人员联合攻关，一旦开发成功，拿到公司发明专利，其他光刻机公司想提高芯片的制程工艺精度和效率，不得不采用这项公司发明专利，公司就是靠收取这项专利费也能生存！”

邓国辉、欧阳明和陈伟长眼前一亮，赫然开朗，心里惭愧，以前怎么没有想到？

“邓院长，我给你们推荐江城曙光通讯自动化设备研究所的顾问、钟德伟教授的研究团队，利用三家研究所现有的设备和材料开始研制双工作台，严格保密，开发成功后，根据贡献大小，我个人出资一百万元，奖励管理层和技术团队！”

《无敌从献祭祖师爷开始》

前世，华中大学的激光技术和工业自动化技术实力超过华清，经过近四年的发展，林启峰和钟德伟领导的曙光通讯自动化设备研究所在通讯设备自动化技术方面处于国内第一。