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“开始测试。”
同样戴着眼镜的曹育华慎重的点点头,进行一系列操作,开始测试。
测试很快,过了一会,被放慢无数倍的测试过程展现在大家眼前。
伴随着一串又一串的数据渐渐的浮现。
严谨站在林曦月旁边,开始记录这一串又一串的数据,脸上开始出现激动的神情。
“镜片对euv的吸收率,5。”
“冷却系统成功处理掉镜片吸收的热量。”
随着严谨的声音在寂静的研究室里响起,其余人的脸上开始越来越激动。
这个数据可以说是目前世界上最好的镜头了吧!
要知道国外的镜头就算做的再好,镜片对euv的吸收率都要30。
但是光刻机中,一整个反射系统就需要十一枚这样的反射镜。
这也导致最后真正用于光刻芯片的光强只剩些2。
林曦月的嘴角弯起,露出一抹笑容,这个数据的镜头,已经够用了。
华国现在的镜头都需要从国外引入,有了它,国外都得来跟华国引入镜头!
“老大!我们做出来了!成功了!”严谨汇报完数据,看着真空状态下的镜头,神情激动地说道。
林曦月点点头,“嗯,做出来了。”
镜头算是他们做光刻机的一大门槛,所以他们才会那么激动。
方院士抹了抹脑门上的汗,这个数据,总算是没有白费力气。
想着镜头成功了,林曦月想给他们几人放个假休息一天。
没想到却被众人给拒绝了。
“老大,我们不需要休息。”
“对啊老大,我们要一鼓作气!再接再厉哈哈哈哈”
严谨也一脸严肃的点点头,“我们要等光刻机真的成功再休息!”
见几人一脸光刻机不出来我们不放假的模样,林曦月哭笑不得的摇摇头。
谁说她是研究狂魔来着?
感觉她手下的人才是真正的研究狂魔。
在下午时候,她将光刻机的进展汇报给罗甘。
自从他们开始研究之后,在光电所就跟消失了一样。
也只有罗甘偶尔想起来光电所还有这么一个项目,没事就溜达过去瞅一眼。
后面忙起来了也没有什么时间去看他们,算起来,也有半个多月没有去他们研究室溜达了。
所以当罗甘看到那一份来自林曦月工作汇报邮件的时候,不由得心生诧异。
他们研究室有进展了?
他都已经做好一两年看不到工作汇报的准备了。
怀着好奇的心理,罗甘点开邮件,慢悠悠的喝了一口小蔡助理递上来的茶水。
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